基本上。氫氣的純度是它最最最關鍵的參數。氫氣能否用於醫療。就取決於其純度。 氫氣的純度分級: 4N5(99.995%) (N-night) 工業氫。4N5以下的就是垃圾,連工業上也不願意使用。 5N(99.999%)工業氫。大多工業上使用。 5N5(99.9995)電子級氫氣。以價格區分為有證書與無證書。 6N(99.9999%)高純氫氣。多半是實驗室使用。目前只有三福有提供少量的高純氫氣,這個純度就已經是能買到的氫氣的天花板。一桶6N的氫氣約3000元NTD。 7N(99.99999%)~11N(99.999999999%) 超高純氫氣目前只有漢氫科技的固態氫氣可以達到。 6N-6個9。99.9999%--是不是6個9? 就是這樣算的。反言之。純度=1-不純物。所以1-99.9999%=0.000001 (不純物) ppm (parts per million) 的定義: 百萬分比,指每百萬份物質中包含某物質的份數。 所以。6N的氫氣。其不純物有0.000001 =1ppm 換句話說。6N的氫氣中有1個ppm的雜質。 [半導體製程要用多純的氫呢? 如何可以達到這個純度呢? ] 半導體製程的定義,常聽到的是「多少奈米」的製程,比如近日媒體常報導的台積電領先全球量產的5奈米製程或是2022年即將量產的3奈米製程。一般而言多少奈米的製程,所代表的是單一電晶體(Transistor)的通道長度(Channel Length),通道長度越短,電晶體的導通速度越快,每單位面積(毫米平方,mm2)的電晶體密度越高,運算能力與儲存功能也越高。 這一段大家看不太懂,我們先跳過哦。 微米(μm) 是 長度單位,表示1米的一百萬分之一(10-6 m)。 奈米 ,又稱 納米 ,為 微米 的千分之一倍,奈米是一個長度單位,指1 米 的十億分之一( 10 -9 m )。 半導體製程是個超微量的技術。在最早期的微米製程。就比須用到8N的超高純氫氣。否則就會發生雜質比晶體通道還要大的窘境。 後來逐漸發展的奈米製程。氫氣的純度就必須用到11N了。 為什麼半導體製程要用到氫氣?而且是"非氫不可"呢? 在過去。半導體製程主要使用CVD製程。 化學氣相沉積 (英語:chemical vapor deposition,簡稱 CVD )是一種用來產生純度高、效能好的固態材...